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自動光學檢測系統

太陽能電池自動光學檢測系統
3 d晶圓量測系統Model7980
3 d晶圓量測系統
型号7980
本系統整合白光干涉量測技術，可進行非破壞性的光學尺寸量測，適用12吋晶圓。

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三維光學(3 d)輪廓儀Model7503
三維光學(3 d)輪廓儀
型号7503
  • 使用白光干涉量測技術
  • 模組化設計
  • 多種表面參數量測：斷差高度、夾角、薄膜厚度及平整度

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晶圓檢測系統Model7940
晶圓檢測系統
型号7940
  • 可同時檢測正反兩面晶圓
  • 最大可檢測6吋擴膜晶圓(檢測區域達8吋範圍)
  • 可因應不同產業的晶粒更換或新增檢測項目
  • 上片後晶圓自動對位機制

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多功能光學量測系統Model7505-05
多功能光學量測系統
模式7505 - 05
  • 適用於金屬外殼,電池,CG尺寸品質檢測
  • 整合2 d及3 d量測功能於同一系統
  • 全新專利流道式量測技術量測速度快< 2.5秒/片
  • 提供即時統計直方圖，可即時顯示每個測項的品質狀況

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圓柱型電池外觀自動光學檢測系統Model7505-K006
圓柱型電池外觀自動光學檢測系統
模式7505 - k006
適用於市面上各種主流尺寸之圓柱型電池外觀瑕疵檢測

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薄膜厚度自動光學量測系統Model7505-K007
薄膜厚度自動光學量測系統
模式7505 - k007
適用於辊,辊印刷製程,薄膜等薄膜印刷製程厚度檢測

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線上型印刷品質自動光學檢測系統Model7505-K009
線上型印刷品質自動光學檢測系統
模式7505 - k009
適用於各種電池前段及其他塗佈相關製程印刷品質檢測

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多功能光學檢測系統Model7505-01
多功能光學檢測系統
模式7505 - 01
  • 一機具備1 d, 2 d, 3 d量測能力
  • 具備膜厚量測功能(1 d),使用穿透反射式量測,可進行非破壞式膜厚量測
  • 使用高解析度線型掃瞄相機,可進行2 d瑕疵量測,可檢出氣泡,刮傷,異物等瑕疵
  • 使用白光干涉量測技術,可進行3 d三維形貌量測

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線上型自動化光學檢測系統Model7505-02
線上型自動化光學檢測系統
模式7505 - 02年
  • 適用於ITO(氧化铟锡)薄膜,RFID, FPC等連續式(辊辊)制程線上即時自動光學檢測
  • 配備高解析度線型掃描相機，可檢出氣泡及刮傷等髒污及瑕疵
  • 使用多支相機同時進行取像，檢測速度快
  • 配備位置控制和反饋系統，可得到精確及清晰的掃描圖像

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MiniLED背光模組自動光學量測系統Model7661-K003
迷你LED背光模組自動光學量測系統
模式7661 - k003
  • 結合71803 - 2二維色彩分析儀針對迷你LED亮度,色彩,瑕疵分析
  • 量側項目:色度,亮度,光強度,均勻度,電壓,電流,导致死燈
  • 可搭配浓度导致電源測試器及光學模組整合為系統方案

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