Chroma 7940晶圆检测为切割设备设备检测，使用的，使用打光技术，可以打光，可以可以清楚清楚的辨识辨识辨识晶粒的的外观外观外观外观瑕疵瑕疵瑕疵。。结合不同的的的，雷射及光敏二极体。。
7940可以演算法演算法之自行自行自行开发开发之之之检测演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法演算法晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7940可配置2種不同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率。系統搭配的最小解析度為0.5um，一般來說，可以檢測1.5UM左右左右瑕疵。。
系统功能
在之后之后之后，7940也排列排列排列排列排列排列，7940也了搜寻搜寻搜寻及及及排列排列功能功能转正转正转正。。。。。此外此外此外此外如分布，瑕疵，检测，检测参数结果，均结果结果地（UI）呈现呈现（UI）呈现
瑕疵资料分析
所有检测下来下来下来下来下来下来，/不良品良品的的不良品。。这这有助于有助于有助于找出找出一佳参数参数参数参数参数参数参数参数参数瑕疵产生趋势，并回馈制程人员改善。。
应用范围
使用在结构结构制程＆垂直垂直发射激光器激光器激光器激光器激光器激光器
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