Chroma 7201可供检测检测长度,宽度,对对线,边缘夹角,导角尺寸以及导角等,同时也可检测表面。参数来达到检测结果,同时也提供瑕疵显示以及储存功能来留待日后进行MES / CIM的分析以及整合。
- 可融合到任何矽晶圆矽晶圆矽晶圆选选
- 可调整式的演算法可供5“,6”以及单晶,多重,类单位等各种矽晶圆
- 多元化介面可与不锈钢或者mes系统系统线
- 可行行钻石钻石切割切割矽晶圆的检测
- 自我监测监测校正正
电话:+ 886-3-327-9999
电子邮件:info@chromaate.com.
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