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AOI系统

3DWAFERMETROLOGYSYSTEMOLE7980型
三维晶圆计量系统
7980型
该系统采用白光干涉测量技术进行非破坏性、快速的表面轮廓测量和分析,适用于12“晶圆。
3DOpticalProfiler型号7503
三维光学轮廓仪
7503型
  • 采用白光干涉测量技术
  • 模块化设计
  • 各种表面测量参数,如截面差、夹角、面积、尺寸、粗糙度、波纹度、膜厚和平整度
晶片检验系统型号7940
晶圆片检验系统
7940型
  • 同时双面颜色检测
  • 6“晶圆/8”检查区域
  • 自动晶圆对准
  • 晶圆形状/边缘识别
7505-05型多功能光学测量系统
多功能光学测量系统
7505-05型
  • 适用于手机化妆品、电池、CG质量检测
  • 在一个系统中集成二维和三维测量
  • 高速隧道测量设计
  • 提供即时直方图,以立即显示每个测试项目的质量
圆柱形电池自动光学检测系统型号7505-K006
圆柱形电池自动光学检测系统
型号7505-K006
适用于主流市场上各种尺寸的圆柱形电池。
薄层厚度自动光学成像系统型号7505-K007
薄膜厚度自动光学计量系统
型号7505-K007
适用于辊对辊加工和薄膜厚度检测。
7505-01型多功能个性化配置系统
多功能光学仿形系统
模式7505 - 01
  • 1D、2D和3D测量能力
  • 配备薄膜测量功能(1D),在使用穿透反射测量时进行非破坏性薄膜厚度测量
  • 通过高分辨率线扫描相机进行二维缺陷测量,以检查气泡、划痕和异物
  • 使用白光干涉法进行三维轮廓测量
InlineAOIsystem型号7505-02
内联AOI系统
模式7505 - 02年
  • 对于ITO(氧化铟锡)薄膜,RFID和FPC辊对辊过程在线实时自动光学检测
  • 配备高分辨率线扫描摄像机,具有检测气泡、划痕等缺陷的能力。
  • 采用多线摄像机同时采集图像,测试速度快。
  • 具备定位目标识别功能和缺陷图功能
小型背光模块自动光学测试系统型号7661-K003
微型LED背光模组自动光学测试系统
型号7661-K003
  • 集成71803-2二维颜色分析仪对微型LED进行亮度、颜色和缺陷分析
  • 测试项目:色度、亮度、发光强度、均匀性、电压、电流和死光
  • 可选的色度LED功率测试仪和光学模块允许集成到测试系统中

太阳能电池AOI系统

自动太阳能电池/晶片检测系统型号7200系列
自动光学太阳能电池/晶圆检测系统
7200型系列
Chroma 7200系列专门设计用于检测各种尺寸和结晶的c-Si电池和晶片的各种缺陷。
SolarCellQualityClassifier 7210型
太阳能电池质量分类器
7210型
  • 安装在前端丝网印刷工艺或终端分拣设备上。
  • 太阳能电池正面或背面印刷缺陷均可检测到。
  • 它可以检测PERC和Bifacial过程中产生的缺陷。
PrinterAutomaticOpticalinstatc型号7210-P
打印机自动光学检测仪
7210-P型
  • 太阳能电池正面印刷缺陷检测仪
  • 检测制造PERC和双面太阳能电池时产生的缺陷。
  • 金属化过程中安装在转盘上。
SolarWaferGeometryandSurfaceInspector型号7201
太阳能晶圆几何和表面检测仪
7201型
  • 太阳能晶圆几何和表面检测仪
  • RGB LED闪光灯照明
  • 高速检测
SolarWaferQualityInspector型号7202
太阳能晶圆质量检验员
7202型
  • 太阳能晶圆质量检验员
  • 精确的粒度计算
  • 针孔和碎屑检查
SolarCell正面打印和表面缺陷检测器(高速)型号7212 HS
太阳能电池正面打印和表面缺陷检测仪(高速)
7212-HS型
  • 与任何制造商的丝网印刷线和细胞分选线集成
  • 灵活直观的软件用户界面
  • 分辨率降至14μm/像素
  • 高级着色缺陷检测
Solarsafersawmark 7231型检查员
太阳能安全锯痕检查员
7231型
  • 太阳能晶圆锯痕检验员
  • EN-50513 2009合规性
  • 高可靠性
SolarCell背面打印和表面检测器型号7213 AD
太阳能电池背面打印和表面检查
7213-AD型
  • 太阳能电池背面打印和表面检查仪(扩散型)
  • V形切割和薄片检查
  • 安装在金属化工艺和分拣工艺上
7214-D型抗反光胸肌
防反射涂层检查员
7214-D型
  • 防反射涂层检查员
  • 缺陷与颜色变化检测
  • 安装在PECVD之后或金属化过程之前