Chroma 7980 3D晶圆计量系统은은을하여괴적이고신속한표면프로필측정분석분석을수행합니다。측정：스텝높이，선폭선폭（cd）및tsv（실리콘관통통과）구조，오버레이（ovl）및및두께식각깊이。수직및축캔범위범위가넓으며넓으며넓으며넓으며측정측정크기가가가가가인치인치웨이퍼인다양다양한자동자동측정애플리케이션애플리케이션에합니다。이시스템오토알고리즘알고리즘알고리즘알고리즘알고리즘이미지기능및검사기능을지원지원하는하는레시피측정기능기능을합니다합니다합니다합니다합니다。또한측정를할수운영자가분석할있습니다있습니다있습니다。
（Chroma 7980，3D晶圆计量系统，以前被称为Chroma 7505系列半导体高级包装光学计量系统）