7940はダイシングのウェーハチップのの装置ですウェーハチップ上面と底面底面をを同时に検查することができことができます。。高度な照明照明技术とカメラののの垂直チップチップ検查のテスト构成合わせシステムをカスタマイズすることができます。
7940ははをととをを备え备えはは大15ms/chipのののスループットで，，，最最最最最最大大大大大大大インチインチウェーハウェーハををををを分分分で検查することができことができ，，ウェーハの反りやややします2x倍率1.3μm/像素ののの解像，，およびおよびおよびおよびおよびおよびおよびおよび倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率の倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率倍率ででののののででででででででででででででででで
システム
プロセス中，チップの再が必要にになる。7940にありますますありにににににににに精密スキャンスキャンををを用い用いててウェーハアライメントウェーハアライメント角度角度角度をを自动自动自动的的にソフトウェアユーザーのをに短缩し，との视覚视覚ななウェーハマッピングをを提供でき，読み読みやすく使い使い使いやすいやすい
欠陥分析
/不不およびのほかに，结果后后ためために，全て全て全ての生生データを记录するすることができます。このデータデータデータなパラメータにして取得できますまた生产プロセスにに起因するする欠陥欠陥倾向倾向倾向をを监视ことができことができ，，生产生产生产管理管理管理ののため
アプリケーション
| LED上部欠陥 | ||
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| LED后面欠陥 | ||
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| VCSEL上面欠陥 | ||
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| VCSEL后面欠陥 | ||
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