（7503（）

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7503はスキャン技术を応用し白光白光干渉式たた光学プロファイラー精密な走查システムシステムとと的なアルゴリズムアルゴリズムをを応用して，マイクロナノマイクロナノ构造物のの形状形状2d测定て测定测定测定行えます本は顕微镜测定机能も备え，，多目的目的な计测が可能

7503はのモジュラー设计で，な测定アプリケーションになな高度高度なな柔软柔软性性持ってていいますますます。。电动电动タレットをを搭载搭载搭载搭载ししし同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时同时できのででレンズ交换交换するする省け。。また。。。。のの轴电动电动ステージステージステージををを搭载搭载搭载ししててて，，，サンプルサンプルサンプルに対してに対してに対してアプリケーションをが可能です。はは处理が不要不要すぐにに非非破壊破壊破壊でで高速表面表面形状形状のの测定测定と解析解析が行え行え，研究开発ややプロセス

60mm、60mm、X-x-x-x-x-x-x-yのののの分解分解能ははサブミクロンサブミクロンサブミクロンに达し达し达していいいますます。。またおお客客客様様のののごご要求に応じ応じ応じてnist标准はははは标准标准标准适合します。。またまたまた数数种类の的的で信頼信頼性性の高いアルゴリズムとと组み合わ组み合わ组み合わ组み合わ高高高高精度精度精度精度精度精度精度精度Z Z轴のと高速オートフォーカスのを组合ことことベストフォーカスフォーカス位置位置ををを容易に见つける见つけることができます。。。また倾斜调整付きステージ自动的をフォーカス位置に调整，测定が行え。。

一般なの白色光干渉解析行う装置は，表面のさをを计算计算するするする重心重心アルゴリズムをを使用ししてていいますがが，光光回折回折回折のはははは境界輪郭の測定結果データにも誤差が影響してしまいます。7503は、測定ソフトウェアに最新の「3D Profiler Master」を採用しており、 独自の干渉信号処理アルゴリズムと組合せることによって、白色光干渉のスペクトルして境界エラーのをするするますます。

このに暗点处理を搭载しおり，フィルターによるによるデータのの误差误差をを修正修正することができます。。検出たた暗点を除去除去ます。暗点処理のプロセスがリアルタイムに機能することにより、暗点フィルタ機能を効果的に実行することができます。また暗点処理に際してデータベースを参照することによって、さらに測定の信頼性を高めています。

sta（表面纹理分析）主人，，データに対してを行いアイコンでで完全なな表面表面形态を表示150种。种种种种以上の线またはまたは面のパラメーター起伏平坦度ピークボトムなどを表示表示ハイパスハイパス/ローパスハイパスハイパスやややフィルタフィルタローパスローパスローパスローパス，，，，カスプを除去空间空间フィルタリングフィルタリング等等のの各种各种を装备装备装备し，また化法等データ机能解析上にすることができます。

多様化产业中で，あらゆる，フラットパネルディスプレイディスプレイファイバー，，，，，，，，，，，，，，，，，，，，やや电子电子电子パッケージパッケージ等等等等は，，ミクロミクロミクロ构造构造のののののの工程はほとんど场合场合，构造の表面轮郭轮郭検查検查ををを行っ行っ行っててててていいいい。。これらこれらこれらに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してに対してはははははははははははは，粗度，厚さ平坦の机能，制造制造メーカーや研究开発开発へののニーズにお応えお応えしし

7503は2dと3d测定测定兼备て高速倍率切替え囲囲のマッピング机能机能でで，ななの测定测定ニーズに対応対応するすることができことができますますますます拡张拡张性性优れ优れ优れ优れ优れ要求に搭载ことができますおお毎システム构成とすることことによって解析解析效率向上向上向上ととコスト削减削减削减においてにおいて最适最适最适な

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