Chroma 7940晶圆芯片检查系统是一种自动检查系统，用于邮政片的晶体芯片检查。它能够同时检查晶圆芯片的顶部和底部视图。利用先进的照明技术和彩色相机获取，可以定制用于各种晶圆过程和测试配置（例如垂直芯片或翻转芯片检查）的系统。
使用高速相机和检查算法，Chroma 7940可以在3分钟内检查多达6英寸的晶圆，最多可达15毫秒/chip。它提供自动焦点和赔偿晶圆和不均匀的Chuck。分别使用1.3μm/像素和0.5μm/Pixel分辨率的5倍宏伟元素用于检测各种缺陷的大小至1.5μm。
系统功能
胶带扩展后，单个芯片方向可能会变得不规则，并且在检查过程中需要进行芯片重新调整。Chroma 7940包括一个软件对齐函数，该功能会自动调整晶圆比对角进行精确扫描。该系统带有易于阅读和用户友好的界面，可显着缩短用户的学习时间，同时提供缺陷区域的可视化晶片映射和检查结果。
缺陷分析
除了通过/失败检查和垃圾箱数据外，还可以记录所有检查结果的原始数据以进行进一步分析。该数据库使得可以轻松分析和获得最佳参数，以平衡过度杀伤和杀伤力。它也用于监测由生产过程引起的缺陷趋势，因此能够为生产控制提供高级反馈。
申请
| LED顶部缺陷 | ||
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| LED背侧缺陷 | ||
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| VCSEL顶部缺陷 | ||
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| VCSEL后侧缺陷 | ||
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