配备3D传感器的Chroma 7505-K007薄膜厚度自动光学计量系统适用于辊对辊加工和薄膜厚度测量。台内嵌真空吸附功能,使软UUT表面平整。该系统厚度测量范围大,静态和动态测量重复性高。除了内置的自动测量的Recipe功能,系统还提供了存储功能,以保存测量数据,便于操作人员分析。
薄膜厚度自动光学计量系统型号7505-K007
关键特性
- 适用于辊对辊加工及薄膜厚度检测。
- 配备三维传感器进行厚度测量。
- 台内嵌真空吸附功能,使软UUT表面平整。
- 厚度测量范围大。
- 高静态测量重复性。
- 高动态测量重复性。
- 内置配方功能,自动测量。