在7202的设计中,Chroma提出了独特的光学设计,可确保晶粒大小计算的结果高度重复。由于可以量化不同晶粒大小的分类,因此可以将检查的晶粒应用于适当的细胞制造线,以获得最高的细胞效率。
针孔缺陷也可以通过7202检测到。已知针孔缺陷是造成μ裂缝或严重局部分流的原因,这会导致PV模块的可靠性问题。
▲针孔缺陷的分析
- 能够集成到任何晶圆裁判师
- 灵活的算法编辑器,用于单晶,多晶和准晶体晶片,可用于5“和6””
- 多个接口与不同的设备或制造执行系统(MES)通信
- 独特的照明设计以确保晶粒大小的可重复性
▲7202的晶粒大小检查结果示例