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Chroma 7201设计用于测量晶圆长度、宽度、对角线、正交和倒角大小和角度，还能够检测表面污渍。用户友好的软件和GUI支持多种参数设置和结果，它还提供缺陷显示和存储功能，用于进一步分析或潜在的MES/CIM集成。

• 能够集成到任何晶圆分拣机
• 灵活的算法编辑器，适用于单晶、多晶和准晶晶片，适用于5英寸和6英寸
• 与不同设备或制造执行系统（MES）通信的多接口
• 准备好进行金刚石锯片检查
• 自我监测和校准系统

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7201

太阳能晶圆几何和表面检测仪

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