7503型三维光学轮廓仪

三维光学轮廓仪
关键特性
  • 利用白光干涉测量技术对表面纹理进行无损、快速的测量和分析
  • 模块化设计,根据测试需求或预算问题选择零件
  • 提供各种表面测量参数,如断面差,包括角度,面积,尺寸,粗糙度,波纹度,膜厚和平整度
  • 配备暗点和边界误差校正算法
  • 友好的用户界面,简单的图形控制系统和3D图形显示
  • 可交换的文件格式,以保存和读取各种3D配置文件格式
  • 为自动测试提供度量脚本

Chroma 7503采用白光干涉技术,利用先进的扫描系统和创新的算法来测量和分析微纳结构的表面轮廓。可配合单色相机进行显微镜测量。

Chroma 7503最新的模块化设计具有灵活的配置,可以满足多种测试应用。配备电动前起落架时,最多可安装5种镜片,无需手动更换即可直接切换使用。配有电动调整移动平台,可自动调整和定位样品。纵、横轴扫描范围大,适用于各种自动测量。无需任何预处理即可对样品进行无损、快速的表面纹理测量和分析,最适合研发、生产、工艺改进和学术研究。

当使用Z垂直轴测量扫描行程时,色度7503可以达到60mm。此外,当使用PC根据需要控制移动平台时,水平轴能够达到亚微米分辨率。快速校准程序和算法理论使系统校准结果可追溯至NIST标准。Chroma 7503结合了多种创新、稳健和可靠的算法,具有高精度和大规模测量的质量。

商用白光干涉分析仪经常使用质心算法来计算表面高度。由于光线衍射导致某些位置的高度计算不正确,导致剖面数据错误,Chroma 7503采用最先进的3D Profiler Master软件和Chroma的干涉信号处理算法,分析白光干涉的频谱,防止边界误差问题。

该系统具有暗点处理功能,对无法产生干扰的数据进行过滤和修正,减少测量误差。由于暗点处理是在数据检索时进行的,因此可以有效地执行暗点过滤函数;同时通过参考周边数据进行修正,使测量更加稳健可靠。

Master软件分析和校正表面纹理数据,并在图标中提供完整的轮廓。它有150多条线或表面轮廓参数,包括粗糙度、波纹度、平整度、顶点和谷值。高通滤波器、低通滤波器、快速傅里叶变换和尖点去除空间滤波器工具允许用户过滤掉高/低/带通信号。该软件具有多项式拟合、区域生长、全曲面和多区域水准测量工具,可灵活用于数据处理和分析。

Chroma 7503具有3D测量功能,具有快速比率切换和大面积地图链接功能,可满足各种应用的需要。此外,灵活的模块化设计允许定制实际用途,以在价格和性能之间取得平衡。Chroma 7503是提高效率和节约成本的最佳选择。

应用


产品调查

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三维光学分析器

  • 干涉物镜:2.5倍,5倍,10倍,20倍,50倍,100倍
  • 鼻甲:
    • 没有一个
    • 手动旋转(5孔)
    • 电动旋转(5孔)
  • XY平台:
    • 自动300mm x 300mm;100 mm x 100 mm
    • 手动70mm x 70mm