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Chroma 7201可检测长度，宽度，，边缘，尺寸以及导角角度角度角度，同时等等等等等同时同时也可以可以检测表面瑕疵。设计设计检测参数检测，同时同时也瑕疵显示储存储存功能留待留待日后日后进行进行进行进行进行进行进行进行进行

• 可整合任何硅片分选机上
• 5“ 6”以及以及以及单晶，多晶，准准单晶单晶各硅片硅片硅片硅片硅片
• 多样化介面可不同设备或者或者或者
• 可进行切割硅片的检测
• 自我监测以及系统

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